1.鈉焰法

原理：鈉焰法原理是將氯化鈉水溶液噴霧、干燥形成質(zhì)量中值直徑約為0.4μm 的氯化鈉氣溶膠作為試驗(yàn)塵。在被測(cè)高效濾料的前后進(jìn)行含塵空氣采樣，并引到鈉火焰光度計(jì)內(nèi)，測(cè)出與含塵濃度相關(guān)的光電流值，從而算出濾料的透過(guò)率。

測(cè)試原理：試驗(yàn)塵源為單分散相氯化鈉鹽霧，“量”為含鹽霧時(shí)氫氣火焰的亮度，主要儀器為火焰光度計(jì)。鹽水在壓縮空氣的攪動(dòng)下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進(jìn)入風(fēng)道。在過(guò)濾器前后分別采樣，含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍(lán)、亮度增加。以火焰亮度來(lái)判斷空氣的鹽霧濃度，并以此確定過(guò)濾器對(duì)鹽霧的過(guò)濾效率。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4μm,但對(duì)國(guó)內(nèi)現(xiàn)有實(shí)測(cè)結(jié)果為0.5μm。歐洲對(duì)實(shí)際試驗(yàn)鹽霧顆粒中徑的測(cè)量結(jié)果為0.65μm。隨著其他檢測(cè)方法的普及，歐洲已經(jīng)不再使用鈉焰法。國(guó)內(nèi)有關(guān)部門(mén)正在修訂原來(lái)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是廢止還是繼續(xù)使用鈉焰法，意見(jiàn)還沒(méi)有等到落實(shí)。

2. 計(jì)數(shù)掃描法

按《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》（JGJ71-90）中規(guī)定，被檢高效過(guò)濾器必須已檢測(cè)過(guò)風(fēng)量，并設(shè)計(jì)風(fēng)速80%-120%之間運(yùn)行，對(duì)于被檢高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)的顆粒濃度對(duì)受控粒徑對(duì)于≥0.5μm 粒子的濃度，必須≥3.5×104pc/L，對(duì)受控粒徑≥0.1μm 的粒子濃度，必須≥3.5×106-3.5×107pc/L。使用最小采樣量＞1L/min 的粒子計(jì)數(shù)器掃描法，對(duì)高效過(guò)濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行掃描檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)距被測(cè)表面20-30mm，測(cè)頭以5-20mm/s 的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過(guò)濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描。在《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》中規(guī)定，由高效過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來(lái)衡量是否合格。

實(shí)際存在的問(wèn)題：高效過(guò)濾器一般都在系統(tǒng)風(fēng)量和各風(fēng)口風(fēng)量調(diào)整平衡后進(jìn)行，根據(jù)規(guī)范要求各風(fēng)口風(fēng)量與設(shè)計(jì)的風(fēng)量偏差小于15％，這滿足被檢風(fēng)口在接近設(shè)計(jì)風(fēng)速下進(jìn)行的條件。所以當(dāng)風(fēng)量平衡好后要及時(shí)進(jìn)行高效過(guò)濾器泄漏的檢測(cè)工作。

在工程上，對(duì)于大于100 級(jí)的凈化系統(tǒng)一般采用的粒子計(jì)數(shù)器的最小粒徑通道為0.3μm。所以，被檢高效過(guò)濾器在上風(fēng)側(cè)的微粒濃度受控粒徑為≥0.5μm，其濃度必須≥3.5×104pc/L，而一般大氣塵的濃度為5.3×104-2.5×105pc/L，這到了粒子計(jì)數(shù)器的讀數(shù)上限范圍。

在許多凈化系統(tǒng)中，進(jìn)入循環(huán)空調(diào)箱的新風(fēng)經(jīng)過(guò)過(guò)濾器的處理，濃度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于大氣塵濃度，和回風(fēng)混和后的濃度會(huì)更低。因此，在安裝好的凈化空調(diào)系統(tǒng)中引入大氣，是值得慎重思考的問(wèn)題。為了保證被檢空氣過(guò)濾器上游粒子濃度要求，而不破壞系統(tǒng)風(fēng)量的平衡，在上游引入均勻濃度的人工氣溶膠是理想的手段。

引入的氣溶膠濃度到底需要多少，這其實(shí)跟安裝的高效過(guò)濾器的效率和粒子計(jì)數(shù)器的分辨率有關(guān)。粒子計(jì)數(shù)器最小位是個(gè)位，最小數(shù)為零。測(cè)試儀器一般都會(huì)有死區(qū)，如果要求的下游濃度小于10 顆為合格，這些數(shù)據(jù)是否有效，按照統(tǒng)計(jì)學(xué)的原理是很難保證的。

現(xiàn)在，國(guó)內(nèi)大多以美國(guó)DOP 試驗(yàn)對(duì)0.3μm 粒子的過(guò)濾效率作為高效過(guò)濾器的分類(lèi)。所以采用計(jì)數(shù)掃描法檢漏時(shí)，被測(cè)粒徑應(yīng)≥0.3μm，這對(duì)上游濃度的要求更好。按高效過(guò)濾器的效率99.97％，下游濃度保證三個(gè)有效數(shù)字以?xún)?nèi)，則要求上游空氣中粒徑≥0.3μm 的微粒濃度至少約為6×104pc/L。如果采用效率99.99%效率的高效過(guò)濾器，上游≥0.3μm 的微粒濃度約為2×105pc/L，這時(shí)上游≥0.5μm 的粒子濃度，遠(yuǎn)遠(yuǎn)≥3.5×104pc/L。所以，采用大氣作為塵源已經(jīng)不能滿足測(cè)試要求。

大流量的粒子計(jì)數(shù)器更適合用來(lái)檢測(cè)高效過(guò)濾器的安裝泄漏，空氣采樣量越大，測(cè)試結(jié)果就越具有代表性，準(zhǔn)確度也就越高。規(guī)范要求的采樣量是1l/min，而我們多使用的采樣量是0.1cfm（2.83l/min），以此滿足測(cè)試儀器的要求，但這樣會(huì)影響到檢漏的工作效率。以610×610 高效過(guò)濾器為例，使用移動(dòng)采樣頭在高效過(guò)濾器下側(cè)采樣時(shí)，采樣速度20mm/s,矩形100×11.33 采樣器至少需要244秒；圓形采樣器的采樣速度更慢，檢漏掃描所用的時(shí)間更長(zhǎng)。而ISO14644-3《metrology and test methods》計(jì)算掃描速率和可接受觀測(cè)計(jì)數(shù)法的計(jì)算法則對(duì)一般工程技術(shù)人員來(lái)說(shuō)又比較難掌握，所以，今后國(guó)家在制定這方面的規(guī)范時(shí)，對(duì)不同級(jí)別的高效過(guò)濾器，建議采用合適的采樣速率和可接受觀測(cè)計(jì)數(shù)，方便工程測(cè)試人員實(shí)際操作。

3.DOP 粒子掃描正壓檢漏法

檢測(cè)人員必須注意規(guī)范中要求的采樣時(shí)間、上游粒子濃度等參數(shù)在實(shí)際應(yīng)用中的可操作性。在參與某一制藥廠凈化車(chē)間高效過(guò)濾器的檢漏時(shí)，結(jié)合日本JIS-b-9927、美國(guó)Fedstd-209d 標(biāo)準(zhǔn)，采用laskin DOP 粒子發(fā)生器產(chǎn)生大量穩(wěn)定的符合要求的微粒子，以造成上游≥0.3μm 粒子濃度大于或等于1×105pc/L。在過(guò)濾器上游通過(guò)壓縮空氣（冷發(fā)生）將DOP 微粒均勻噴射在系統(tǒng)內(nèi)，由于濃度一般大于1×105pc/L，超出檢測(cè)儀器測(cè)量范圍，所以在檢測(cè)儀器前串聯(lián)粒子濃度稀釋器，使被測(cè)濃度在檢測(cè)儀器測(cè)量范圍。

對(duì)出廠效率為99.97%的高效過(guò)濾器檢漏時(shí)，實(shí)測(cè)所得透過(guò)率應(yīng)低于0.06％，即實(shí)測(cè)所得顆粒濃度小于0.06%C1（C1 為上游濃度）。粒子發(fā)生器在過(guò)濾器上游所發(fā)出的粒子濃度≥0.3μm 時(shí)為3.3×106pc/2.83l，對(duì)于不同風(fēng)量系統(tǒng)，換算成下游極限濃度，如某一設(shè)計(jì)風(fēng)量為15000m3/h凈化空調(diào)系統(tǒng)下游極限濃度1960pc/2.83l。待粒子發(fā)生器所發(fā)生氣溶膠濃度穩(wěn)定后，用粒子計(jì)數(shù)器對(duì)安裝好的高效過(guò)濾器進(jìn)行檢漏試驗(yàn)。粒子計(jì)數(shù)器必須同時(shí)對(duì)高效過(guò)濾器外框和內(nèi)表面分別進(jìn)行兩次掃描，過(guò)濾器上游也必須對(duì)風(fēng)管中的氣溶膠濃度進(jìn)行兩次采樣測(cè)試，采樣和掃面的周期必須相等，起止時(shí)間盡量要一致。

以規(guī)格為610×610 高效過(guò)濾器為例，建議采用采樣周期為一分鐘，速率為50mm/s。檢漏前用高約500mm 的圍擋放在高效過(guò)濾器的四周，可以防止高效過(guò)濾器外框以外的氣流形成渦流，影響掃描測(cè)試的結(jié)果。過(guò)濾器的泄漏主要原因是外框密封圈的密封效果不好，或者濾料不夠平整嚴(yán)密。實(shí)際應(yīng)用中安裝泄漏主要來(lái)自于外框，外框密封條的質(zhì)量與泄漏有很大關(guān)系。

因此，工程上檢漏時(shí)會(huì)在高效過(guò)濾器得四周加放圍擋，減小風(fēng)口圍擋下部出口面積時(shí)，圍擋內(nèi)形成一定正壓，如果高效過(guò)濾器安裝泄漏，粒子會(huì)通過(guò)圍擋往外泄漏。這時(shí)粒子計(jì)數(shù)器可按50mm/s 左右的速度在高效過(guò)濾器下25mm 處掃描1 分鐘，即可判斷過(guò)濾器是否泄漏，這就是“正壓檢漏法”。對(duì)于具有大量的高效過(guò)濾器風(fēng)口的凈化車(chē)間來(lái)說(shuō)，高效正壓檢漏法的測(cè)試效果與傳統(tǒng)的內(nèi)外框掃描法相當(dāng)，但效率提高了一倍。以一個(gè)有60 個(gè)610×610mm 高效過(guò)濾器風(fēng)口的凈化空調(diào)系統(tǒng)為例，采用傳統(tǒng)的方法掃描至少一般要兩個(gè)小時(shí)，而采用正壓檢漏法最快只要一個(gè)小時(shí)，節(jié)省了一半以上的時(shí)間。

4. 油霧法

測(cè)試原理：塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，儀器為濁度計(jì)。以氣樣的濁度差來(lái)判定過(guò)濾器對(duì)油霧顆粒的過(guò)濾效率。德國(guó)規(guī)定用石臘油，油霧粒徑為0.3-0.5μm 。中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的油霧平均直徑為0.28-0.34μm,對(duì)油的種類(lèi)未做具體規(guī)定雖然中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定可以用油霧法，但國(guó)內(nèi)廠家更愿意使用同一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的另一種鈉焰法，只有部分生產(chǎn)廠家在測(cè)量過(guò)濾材料時(shí)仍使用油霧法。

5. 粒子計(jì)數(shù)器法

測(cè)試原理:將含塵氣流以很小的流速通過(guò)強(qiáng)光照明區(qū),被測(cè)空氣中的塵粒依次通過(guò)時(shí),每個(gè)塵粒將產(chǎn)生一次光散射,形成一個(gè)光脈沖信號(hào),根據(jù)光脈沖信號(hào)幅度的大小與粒子表面的大小成正比的關(guān)系,由光電倍增管測(cè)得粒子數(shù)及亮度,確定其過(guò)濾效率

6. PAO法

目的和原理：現(xiàn)場(chǎng)安裝完畢以后對(duì)高效過(guò)濾器進(jìn)行檢漏是檢查高效過(guò)濾器及配套的靜壓箱是否有泄漏或泄漏是否在規(guī)范允許的范圍之內(nèi)。如果高效過(guò)濾器裝置經(jīng)檢漏是合格的，可以確保潔凈室的安全可靠的運(yùn)行，此時(shí)室內(nèi)潔凈度仍未達(dá)標(biāo)，應(yīng)從潔凈室的其它方面查找原因。

在被檢測(cè)高效過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)PAO 氣溶膠作為塵源，在下風(fēng)側(cè)用光度計(jì)采樣檢測(cè)，含塵氣體經(jīng)過(guò)光度計(jì)時(shí)產(chǎn)生的散射光經(jīng)光電效應(yīng)和線性放大轉(zhuǎn)換為電量，并由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過(guò)光度計(jì)的擴(kuò)散室，由于粒子擴(kuò)散引起燈光強(qiáng)度的差異，經(jīng)測(cè)定這個(gè)光強(qiáng)度，光度計(jì)便可測(cè)得氣溶膠的相對(duì)濃度